東莞純水設(shè)備處理過后純度極高的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水是指下列雜質(zhì)含量極低的水：顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；無機電離雜質(zhì),如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娛、NO婣、SiO婣、PO等；有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；微生物,如細菌、浮游生物和藻類等;⑤溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來衡量。
東莞純水設(shè)備瓶裝飲用純凈水必須符合«中華人民共和國食品衛(wèi)生法»和GB 7718 的規(guī)定，除標準商品名稱外，還應(yīng)標注其主要工藝及純凈水字樣。非蒸餾工藝生產(chǎn)的純凈水不能標注為蒸餾水。 純凈水生產(chǎn)單位對原料用水應(yīng)經(jīng)常進行檢驗，同時每年應(yīng)按GB 5749全項檢驗一次。對純凈水產(chǎn)品除每批進行常規(guī)檢驗外，每年還應(yīng)按本標準進行全項檢驗二次，如有停產(chǎn)情況，在生產(chǎn)前必須進行全項檢驗一次，并將檢驗報告妥善保存以備食品衛(wèi)生監(jiān)督機構(gòu)查驗。

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